专利摘要：本实用新型涉及晶圆检测器件领域，具体提供一种用于晶圆检测的刚性升降台，晶圆托板连接在滑框的上端面上，滑台固定与基座连接，滑框套在滑台外侧，滚柱导轨安装在滑台的外棱位置，或者安装在滑框的内棱位置，丝母与丝杆啮合，并设置在滑台内，丝杆的上端固定在固定座内，丝杆的下端与基座连接，丝母的上端与顶块连接，顶块顶在晶圆托板的下表面。本实用新型采用滑框与滚柱导轨进行运动导向，保证运动过程中具有足够的刚性支撑，并提高了运动过程中的稳定性；采用滑框与滑台的配合，增强了结构强度，提高了载荷能力和抗扰动能力；并且利用滚柱导轨代替了进口的高精度直线导轨，极大降低了经济成本。

今年以来奥普光电新获得专利授权7个，较去年同期减少了68.18%。结合公司2023年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了3228.56万元，同比增83.17%。

数据来源：企查查

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