专利摘要:一种单晶炉冷却结构及具有其的拉晶炉,单晶炉冷却结构,包括外导流筒、与所述外导流筒间隔设置的内导流筒、位于所述内导流筒内的水冷屏、进水管和出水管,所述水冷屏内设有与所述进水管和所述出水管连通的冷却腔,所述冷却腔底部内侧的夹角不小于90°。本实用新型对水冷屏进行设计,使得所述水冷屏中所述冷却腔的底部可通冷却水,且冷却水在此处的水流量增大,经过所述水冷屏底部位置处的晶体释放的结晶潜热可由循环冷却水带走的更多,使晶棒冷却效果更佳,提升纵向温度梯度,晶体生长有更大的生长动力,从而提升晶体生长拉速,达到直拉单晶硅棒提产增效的目的。
今年以来阿特斯新获得专利授权136个,较去年同期减少了0.73%。结合公司2023年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了2.79亿元,同比增39.27%。
数据来源:企查查
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